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OMD-675-1 PPB氧氣分析儀在半導(dǎo)體保護(hù)氣的應(yīng)用

日期:2024-08-03 22:58
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摘要:半導(dǎo)體工藝需要采用純度達(dá)99.999%以上的氮?dú)?、氬氣作為保護(hù)氣體。高純氣體為載氣和保護(hù)氣應(yīng)用于彩電顯像管、大規(guī)模集成電路、液晶及半導(dǎo)體硅片等生產(chǎn)過程。因?yàn)榈鶜夥湛梢苑乐菇饘俦砻嬖诩訜徇^程中氧化。

OMD-675-1在線氧氣分析儀0-1ppm應(yīng)用:

-石油化工、電子電力                       -化學(xué)反應(yīng)分析

-空分高純氧氣、微量氧氣監(jiān)測(cè)         -空氣分離和液化

-冶金、半導(dǎo)體、航天**行業(yè)         -核燃料處理和同位素分離

-制氫、制氮、凈化、干燥設(shè)備         -純氣體碳?xì)浠衔锪髀繁O(jiān)測(cè)

-初級(jí)液體給料和可燃液體保護(hù)氣層的檢測(cè)

-氣態(tài)單體過程分析:氯乙烯、丙烯、丁二烯、乙烯、橡膠、叔丁胺等

OMD-675-1在線氧氣分析儀0-1ppm參數(shù):

精 度:<1%

量程范圍可選:

0-1ppm,0 - 10ppm, 0 - 100ppm, 0 - 1000ppm,  0 - 25%

量程自動(dòng)或者手動(dòng)調(diào)節(jié)

應(yīng) 用:對(duì)惰性氣體,碳?xì)錃怏w,He,H2,CO2中的氧含量進(jìn)行100ppb-1%分析 

報(bào) 警:2路繼電器報(bào)警輸出 

標(biāo) 定:使用濃度大約為80%量程經(jīng)過認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)氣體 

補(bǔ) 償:壓力和溫度 

接 口:1/4"接頭 

控 制:量程選擇開關(guān),防水鍵,標(biāo)定及系統(tǒng)功能 

顯 示:大屏幕液晶背光顯示;分辨率:0.01ppm;
流量:0.23-2.5 L/M,推薦流量:1 L/M 

線 性:>.995超過所有量程 

壓 力:進(jìn)樣0-3Mpa;排空-大氣壓 

電 源:9-28VDC 

響應(yīng)時(shí)間:90%滿量程為15秒 
樣氣系統(tǒng):無,如圖可選H2S脫除系統(tǒng) 
靈 敏 度:<0.5%滿量程 
傳感器型號(hào):

 (TO2-1x):微量ppm;(TO2-2x)微量ppm當(dāng)CO2H2S>0.5%時(shí),免維護(hù)

傳感器壽命:24-36個(gè)月,25℃ 
 

輸 出:4-20mA ,RS485MOUBUS
 

溫度范圍:5-45℃;TO2系列傳感器﹞;-20-45℃﹝PO2系列傳感器﹞ 
 

質(zhì) 保 期:12個(gè)月,包括分析儀和傳感器 
樣氣取樣部分:-四通閥、針閥、流量計(jì)、快速吹掃旁路、不銹鋼卡套接頭

SOUTHLAND SENSING 在線氧氣分析儀OMD-150,OMD-507;OMD-401D;

OMD-501D;;OMD-525;OMD-625;OMD-677;OMD-675\EMD-482\EMD-485;OMD-150-1

便攜氧氣分析儀:OMD-480、OMD-480P;OMD-580;OMD-640

硫化氫分析儀;H2S-725;H2S-150;H2S-150-NG;H2S-780/在線

和便攜氧氣*小測(cè)量0-1ppm.

SOUTHLAND SENSING 方石亞盛是一支技術(shù)力量雄厚的高素質(zhì)的開發(fā)群體,為

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